โซลูชันเซมิคอนดักเตอร์ BSLtech
การพัฒนาความเชี่ยวชาญของคุณในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์มักต้องใช้ห้องปลอดเชื้อหรือตู้ไหลแบบลามิเนตที่มีคลาส ISO สูง (ISO 5 หรือสูงกว่า) คุณกำลังเผชิญกับกระบวนการที่ไวต่อรังสียูวีหรือไม่? แม้ว่า BSL จะจัดหาห้องคลีนรูมที่เหมาะสมก็ตาม ห้องคลีนรูมมีการตกแต่งผนังคุณภาพสูงและมีไฟส่องสว่างพร้อมตัวกรองรังสียูวี ด้วยการใช้วัสดุป้องกันไฟฟ้าสถิต (ESD) และแถบป้องกันไฟฟ้าสถิตบนระบบตัวกรอง ประจุไฟฟ้าสถิตในอากาศจึงทำให้เป็นกลาง
เมื่อไม่ต้องการไล่ก๊าซ BSL มีห้องปลอดเชื้อที่ทำจากวัสดุที่ไม่ปล่อยก๊าซ (PU) เทคโนโลยีนี้มีต้นกำเนิดในอุตสาหกรรมการบินและอวกาศ
กระบวนการทั่วไปในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์:
● การปกป้องพื้นผิวและแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน
● การวิจัย EUV
● เครื่องมือจัดตำแหน่งหน้ากาก
● เคลือบสูญญากาศ การสะสมฟิล์มบาง
● แอปพลิเคชันการพิมพ์
● เลนส์
กระบวนการส่วนหน้าและส่วนหลัง