ข้อกำหนดความเร็วลมในห้องคลีนรูมและการเปลี่ยนแปลงอากาศ

ปริมาณการระบายอากาศที่เพียงพอคือการเจือจางและกำจัดอากาศเสียภายในอาคารตามข้อกำหนดด้านความสะอาดที่แตกต่างกันเมื่อห้องสะอาดความสูงสุทธิจะสูงขึ้นตามจำนวนการเปลี่ยนแปลงของอากาศที่เพิ่มขึ้นอย่างเหมาะสม ในบรรดานั้น ปริมาณการระบายอากาศของห้องสะอาด 1 ล้านห้องนั้นพิจารณาตามระบบการทำให้บริสุทธิ์ที่มีประสิทธิภาพสูง [7] และส่วนที่เหลือจะพิจารณาตามระบบการทำให้บริสุทธิ์ที่มีประสิทธิภาพสูง เมื่อมีการจัดวางตัวกรอง HEPA สำหรับห้องคลีนรูม 100,000 ระดับไว้ตรงกลางในห้องเครื่องหรือส่วนท้ายของระบบ จำนวนการเปลี่ยนแปลงของอากาศจะเพิ่มขึ้นได้อย่างเหมาะสม 10-20%

สำหรับค่าปริมาตรการระบายอากาศที่แนะนำข้างต้น ผู้เขียนเชื่อว่าความเร็วลมผ่านส่วนห้องทิศทางเดียวห้องสะอาดไหลอยู่ในระดับต่ำ และห้องสะอาดที่มีความปั่นป่วนเป็นค่าที่แนะนำพร้อมปัจจัยด้านความปลอดภัยที่สมบูรณ์ยิ่งขึ้น การไหลทิศทางเดียวในแนวตั้ง ≥0.25m/s การไหลทิศทางเดียวในแนวนอน ≥0.35m/s ในสถานะว่างเปล่าหรือการตรวจจับความสะอาดแบบคงที่ แม้ว่าจะสามารถตอบสนองความต้องการได้ แต่ความสามารถในการป้องกันมลพิษไม่ดี เมื่อในร่มเข้าสู่สถานะการทำงาน ความสะอาดอาจไม่เป็นไปตามข้อกำหนด ตัวอย่างดังกล่าวไม่ใช่รายบุคคล ในขณะเดียวกัน ซีรีส์เครื่องช่วยหายใจของจีนยังไม่เหมาะสมกับระบบฟอกอากาศของพัดลมมากนัก ผู้ออกแบบทั่วไปมักไม่ได้คำนวณความต้านทานอากาศของระบบอย่างแม่นยำ หรือไม่ใส่ใจว่าพัดลมที่เลือกนั้นอยู่ใน เส้นโค้งลักษณะของจุดทำงานที่ดีกว่า เพื่อให้ระบบถูกนำไปใช้งานหลังจากนั้นไม่นาน ปริมาณอากาศหรือความเร็วลมไม่สามารถเข้าถึงค่าการออกแบบได้ มาตรฐานของรัฐบาลกลางสหรัฐอเมริกา (FS209A~B) ได้รับการกำหนดไว้ก่อนวันที่ 27 ตุลาคม พ.ศ.2530: ความเร็วการไหลของอากาศของห้องคลีนรูมทิศทางเดียวผ่านส่วนของห้องคลีนรูม โดยปกติจะคงไว้ที่ 9 องศา/นาที (0.45 ม./วินาที) และภายใต้เงื่อนไข ไม่มีการรบกวนทั้งห้อง ความสม่ำเสมอของความเร็วอยู่ภายใน ± 20% ความเร็วลมที่ลดลงอย่างมีนัยสำคัญจะเพิ่มโอกาสที่จะมีผลกระทบต่อการปนเปื้อนระหว่างเวลาในการทำความสะอาดตัวเองและตำแหน่งการทำงาน (พารามิเตอร์ทั้งหมดนอกเหนือจากความเข้มข้นของฝุ่นไม่ได้ระบุหลังจากการประกาศใช้ FS209C ในเดือนตุลาคม พ.ศ. 2530)

ด้วยเหตุนี้ผู้เขียนคิดว่าเหมาะสมที่จะเพิ่มค่าการออกแบบภายในประเทศในปัจจุบันของความเร็วการไหลแบบทิศทางเดียวอย่างเหมาะสมหน่วยของเราในโครงการจริงที่จะทำเช่นนั้นผลจะดีกว่า ห้องคลีนรูมประเภทปั่นป่วนเป็นค่าที่แนะนำพร้อมปัจจัยด้านความปลอดภัยที่มากขึ้น แต่นักออกแบบจำนวนมากยังคงไม่มั่นใจว่าเมื่อทำการออกแบบเฉพาะ ปริมาตรการระบายอากาศในห้องคลีนรูมระดับ 100,000 จะเพิ่มขึ้นเป็น 20~25 ครั้ง/ชม. ระดับ 10,000 คือ เพิ่มขึ้นเป็น 30~40 ครั้งต่อชั่วโมง และระดับ 1,000 จะเพิ่มขึ้นเป็น 60~70 ครั้งต่อชั่วโมง ซึ่งไม่เพียงเพิ่มความจุของอุปกรณ์และเพิ่มการลงทุนเริ่มแรกเท่านั้น นอกจากนี้ยังเพิ่มค่าใช้จ่ายในการบำรุงรักษาและการจัดการในอนาคต และไม่จำเป็นต้องทำเช่นนั้น เมื่อเตรียมมาตรการทางเทคนิคในการทำความสะอาดอากาศของจีน [7] มีการตรวจสอบและตรวจวัดห้องสะอาดภายในประเทศมากกว่า 100 ห้อง และห้องสะอาดจำนวนมากยังคงได้รับการทดสอบภายใต้สภาวะไดนามิก และผลลัพธ์แสดงให้เห็นว่าปริมาณการระบายอากาศ 100,000 เกรด ≥10 ครั้ง / ชม. เกรด 10,000 ≥20ครั้ง / ชม. และเกรด 1,000 ≥50ครั้ง / ชม. สามารถตอบสนองความต้องการได้ มาตรฐานของรัฐบาลกลางสหรัฐอเมริกา (FS2O9A~B) กำหนดว่าห้องคลีนรูมที่มีการไหลแบบไม่มีทิศทางเดียว (คลาส 100,000, คลาส 10,000) ความสูงของห้อง 8~l2ft(2.44~3.66m) โดยปกติจะพิจารณาทั้งห้องอย่างน้อยหนึ่งครั้งทุกๆ 3 นาที ( นั่นคือ 20 ครั้ง/ชม.) ดังนั้นข้อกำหนดของข้อกำหนดการออกแบบ [6] จึงคำนึงถึงค่าสัมประสิทธิ์ความมั่งคั่งที่มากขึ้น และผู้ออกแบบสามารถเลือกได้อย่างปลอดภัยตามค่าปริมาตรการระบายอากาศที่แนะนำ