ข้อกำหนดความเร็วลมในห้องคลีนรูมและการเปลี่ยนแปลงของอากาศ

ปริมาณการระบายอากาศที่เพียงพอจะเจือจางและกำจัดอากาศเสียภายในอาคารตามความต้องการความสะอาดที่แตกต่างกันเมื่อห้องสะอาดหากความสูงสุทธิสูงขึ้น จำนวนการเปลี่ยนแปลงอากาศจะเพิ่มขึ้นอย่างเหมาะสม ในจำนวนนี้ ปริมาณการระบายอากาศของห้องคลีนรูม 1 ล้านห้องจะพิจารณาตามระบบการฟอกอากาศประสิทธิภาพสูง [7] และส่วนที่เหลือจะพิจารณาตามระบบการฟอกอากาศประสิทธิภาพสูง เมื่อตัวกรอง HEPA สำหรับห้องคลีนรูม 100,000 คลาสถูกจัดวางที่ศูนย์กลางในห้องเครื่องหรือปลายระบบ จำนวนการเปลี่ยนแปลงอากาศอาจเพิ่มขึ้นได้อย่างเหมาะสม 10-20%

สำหรับค่าปริมาณการระบายอากาศที่แนะนำข้างต้น ผู้เขียนเชื่อว่าความเร็วลมผ่านส่วนห้องของทิศทางเดียวห้องคลีนรูมไหลลื่นต่ำและห้องปลอดเชื้อแบบปั่นป่วนเป็นค่าที่แนะนำพร้อมปัจจัยด้านความปลอดภัยที่เต็มกว่า การไหลทิศทางเดียวในแนวตั้ง ≥0.25m/s การไหลทิศทางเดียวในแนวนอน ≥0.35m/s ในสถานะว่างเปล่าหรือการตรวจจับความสะอาดแบบคงที่ แม้ว่าจะสามารถตอบสนองความต้องการได้ แต่ความสามารถในการป้องกันมลพิษนั้นไม่ดี เมื่อในร่มเข้าสู่สถานะการทำงาน ความสะอาดอาจไม่เป็นไปตามข้อกำหนด ตัวอย่างดังกล่าวไม่ใช่รายบุคคล ในเวลาเดียวกัน ซีรีส์พัดลมระบายอากาศของจีนยังไม่เหมาะกับระบบฟอกอากาศมากขึ้น นักออกแบบทั่วไปมักไม่คำนวณความต้านทานอากาศของระบบอย่างแม่นยำ หรือไม่ใส่ใจว่าพัดลมที่เลือกอยู่ในเส้นโค้งลักษณะเฉพาะของจุดทำงานที่เหมาะสมกว่าหรือไม่ ดังนั้น ระบบจึงเริ่มทำงานในไม่ช้า ปริมาณอากาศหรือความเร็วลมจึงไม่สามารถเข้าถึงค่าที่ออกแบบไว้ มาตรฐานของรัฐบาลกลางสหรัฐอเมริกา (FS209A~B) ได้กำหนดไว้ดังนี้ก่อนวันที่ 27 ตุลาคม 1987: ความเร็วการไหลของอากาศของห้องสะอาดแบบทิศทางเดียวผ่านส่วนห้องสะอาดโดยปกติจะคงไว้ที่ 9 ฟุต/นาที (0.45 เมตร/วินาที) และภายใต้เงื่อนไขที่ไม่มีการรบกวนในห้องทั้งหมด ความสม่ำเสมอของความเร็วจะอยู่ภายใน ±20% การลดลงอย่างมีนัยสำคัญของความเร็วการไหลของอากาศจะเพิ่มโอกาสของผลกระทบจากการปนเปื้อนระหว่างเวลาทำความสะอาดตัวเองและตำแหน่งการทำงาน (พารามิเตอร์ทั้งหมดอื่นนอกเหนือจากความเข้มข้นของฝุ่นไม่ได้ระบุไว้หลังจากประกาศใช้ FS209C ในเดือนตุลาคม 1987)

ด้วยเหตุนี้ผู้เขียนจึงคิดว่าควรเพิ่มค่าการออกแบบภายในบ้านปัจจุบันของความเร็วการไหลแบบทิศทางเดียวอย่างเหมาะสม ซึ่งหน่วยงานของเราจะดำเนินการในโครงการจริงเพื่อให้เกิดผลที่ดีขึ้น ห้องสะอาดประเภทปั่นป่วนเป็นค่าที่แนะนำพร้อมปัจจัยด้านความปลอดภัยที่เต็มเปี่ยม แต่ผู้ออกแบบหลายคนยังไม่มั่นใจว่าเมื่อทำการออกแบบเฉพาะ ปริมาณการระบายอากาศในห้องสะอาดระดับ 100,000 จะเพิ่มเป็น 20~25 เท่า/ชม. ระดับ 10,000 จะเพิ่มเป็น 30~40 เท่า/ชม. และระดับ 1,000 จะเพิ่มเป็น 60~70 เท่า/ชม. ซึ่งไม่เพียงแต่เพิ่มความจุของอุปกรณ์และเพิ่มการลงทุนเริ่มต้นเท่านั้น แต่ยังเพิ่มต้นทุนการบำรุงรักษาและการจัดการในอนาคตอีกด้วย ซึ่งไม่จำเป็นต้องทำเช่นนั้น เมื่อเตรียมมาตรการทางเทคนิคในการทำความสะอาดอากาศของจีน [7] ห้องสะอาดภายในบ้านมากกว่า 100 ห้องได้รับการตรวจสอบและวัด และห้องสะอาดจำนวนมากยังคงได้รับการทดสอบภายใต้เงื่อนไขไดนามิก และผลลัพธ์แสดงให้เห็นว่าปริมาณการระบายอากาศของเกรด 100,000 ≥10 ครั้ง/ชม. เกรด 10,000 ≥20 ครั้ง/ชม. และเกรด 1000 ≥50 ครั้ง/ชม. สามารถตอบสนองความต้องการได้ มาตรฐานของรัฐบาลกลางสหรัฐอเมริกา (FS2O9A~B) กำหนดว่าห้องสะอาดที่มีการไหลแบบไม่ทิศทางเดียว (เกรด 100,000, 10,000) ความสูงของห้อง 8~l2ft (2.44~3.66m) มักจะพิจารณาห้องทั้งหมดอย่างน้อยหนึ่งครั้งทุก 3 นาที (นั่นคือ 20 ครั้ง/ชม.) ดังนั้น ข้อกำหนดของข้อกำหนดการออกแบบ [6] จึงได้คำนึงถึงค่าสัมประสิทธิ์การดูดซึมที่ใหญ่กว่า และนักออกแบบสามารถเลือกตามค่าปริมาณการระบายอากาศที่แนะนำได้อย่างปลอดภัย