ค่าเป้าหมายของความชื้นสัมพัทธ์ในห้องคลีนรูมเซมิคอนดักเตอร์ (FAB)

ค่าเป้าหมายของความชื้นสัมพัทธ์ในห้องคลีนรูมเซมิคอนดักเตอร์ (FAB) อยู่ที่ประมาณ 30 ถึง 50% ซึ่งอนุญาตให้มีขอบเขตข้อผิดพลาดแคบ ±1% เช่น ในโซนลิโธกราฟี หรือแม้กระทั่งน้อยกว่านั้นในโซนการประมวลผลรังสีอัลตราไวโอเลตระยะไกล (DUV) ในขณะที่ที่อื่นๆ สามารถปรับให้ลดลงเหลือ ±5% ได้
เนื่องจากความชื้นสัมพัทธ์มีปัจจัยหลายประการที่สามารถลดประสิทธิภาพโดยรวมของห้องคลีนรูมได้ เช่น:
1.การเจริญเติบโตของแบคทีเรีย;
2. ช่วงอุณหภูมิห้องที่สบายสำหรับพนักงาน
3.เกิดประจุไฟฟ้าสถิตย์เกิดขึ้น
4. การกัดกร่อนของโลหะ
5. การควบแน่นของไอน้ำ
6. ความเสื่อมโทรมของการพิมพ์หิน
7. การดูดซึมน้ำ

แบคทีเรียและสารปนเปื้อนทางชีวภาพอื่นๆ (เชื้อรา ไวรัส เชื้อรา ไร) สามารถเจริญเติบโตได้ในสภาพแวดล้อมที่มีความชื้นสัมพัทธ์มากกว่า 60% ชุมชนแบคทีเรียบางชนิดสามารถเจริญเติบโตได้ในสภาพแวดล้อมที่มีความชื้นสัมพัทธ์มากกว่า 30% บริษัทเชื่อว่าควรควบคุมความชื้นให้อยู่ในช่วง 40% ถึง 60% ซึ่งจะช่วยลดผลกระทบของแบคทีเรียและการติดเชื้อทางเดินหายใจได้

ความชื้นสัมพัทธ์ในช่วง 40% ถึง 60% ถือเป็นระดับปานกลางสำหรับความสบายของมนุษย์ ความชื้นมากเกินไปอาจทำให้รู้สึกอึดอัด ในขณะที่ความชื้นต่ำกว่า 30% อาจทำให้ผิวแห้งแตก หายใจไม่สะดวก และรู้สึกไม่สบายใจ

ความชื้นสัมพัทธ์ที่สูงช่วยลดการสะสมของประจุไฟฟ้าสถิตบนพื้นผิวห้องสะอาด ซึ่งเป็นผลลัพธ์ที่ต้องการ ความชื้นสัมพัทธ์ที่ต่ำเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการสะสมประจุไฟฟ้าสถิตและเป็นแหล่งปล่อยประจุไฟฟ้าสถิตที่อาจสร้างความเสียหายได้ เมื่อความชื้นสัมพัทธ์เกิน 50% ประจุไฟฟ้าสถิตจะเริ่มสลายตัวอย่างรวดเร็ว แต่เมื่อความชื้นสัมพัทธ์ต่ำกว่า 30% ประจุไฟฟ้าสถิตอาจคงอยู่เป็นเวลานานบนฉนวนหรือพื้นผิวที่ไม่ได้ต่อสายดิน

ความชื้นสัมพัทธ์ระหว่าง 35% ถึง 40% สามารถใช้เป็นค่าประนีประนอมที่น่าพอใจ และห้องสะอาดของเซมิคอนดักเตอร์มักใช้การควบคุมเพิ่มเติมเพื่อจำกัดการสะสมของประจุไฟฟ้าสถิต

ความเร็วของปฏิกิริยาเคมีหลายอย่าง รวมถึงกระบวนการกัดกร่อน จะเพิ่มขึ้นตามความชื้นสัมพัทธ์ที่เพิ่มขึ้น พื้นผิวทั้งหมดที่สัมผัสกับอากาศรอบ ๆ ห้องสะอาดจะเคลื่อนที่อย่างรวดเร็ว