ค่าเป้าหมายของความชื้นสัมพัทธ์ในห้องสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ (FAB)

ค่าเป้าหมายของความชื้นสัมพัทธ์ในห้องปลอดเชื้อเซมิคอนดักเตอร์ (FAB) อยู่ที่ประมาณ 30 ถึง 50% ซึ่งทำให้เกิดข้อผิดพลาดที่แคบ ±1% เช่น ในเขตการพิมพ์หิน – หรือน้อยกว่านั้นในการประมวลผลรังสีอัลตราไวโอเลตไกล (DUV) โซน – ในขณะที่อื่นๆ สามารถผ่อนคลายได้ถึง ±5%
เนื่องจากความชื้นสัมพัทธ์มีปัจจัยหลายประการที่สามารถลดประสิทธิภาพโดยรวมของห้องคลีนรูม ได้แก่:
1. การเจริญเติบโตของแบคทีเรีย
2. ช่วงความสะดวกสบายของอุณหภูมิห้องสำหรับพนักงาน
3. ประจุไฟฟ้าสถิตปรากฏขึ้น
4. การกัดกร่อนของโลหะ
5. การควบแน่นของไอน้ำ
6. การเสื่อมสภาพของการพิมพ์หิน
7. การดูดซึมน้ำ

แบคทีเรียและสิ่งปนเปื้อนทางชีวภาพอื่นๆ (เชื้อรา ไวรัส เชื้อรา ไร) สามารถเจริญเติบโตได้ในสภาพแวดล้อมที่มีความชื้นสัมพัทธ์มากกว่า 60% ชุมชนแบคทีเรียบางแห่งสามารถเติบโตได้ที่ความชื้นสัมพัทธ์มากกว่า 30% บริษัทเชื่อว่าควรควบคุมความชื้นให้อยู่ในช่วง 40% ถึง 60% ซึ่งสามารถลดผลกระทบของแบคทีเรียและการติดเชื้อทางเดินหายใจได้

ความชื้นสัมพัทธ์ในช่วง 40% ถึง 60% ถือเป็นช่วงปานกลางสำหรับความสะดวกสบายของมนุษย์เช่นกัน ความชื้นที่มากเกินไปอาจทำให้ผู้คนรู้สึกอับชื้น ในขณะที่ความชื้นที่ต่ำกว่า 30% อาจทำให้ผู้คนรู้สึกแห้ง ผิวแตก ไม่สบายทางเดินหายใจ และไม่มีความสุขทางอารมณ์

ความชื้นสูงช่วยลดการสะสมของประจุไฟฟ้าสถิตบนพื้นผิวห้องคลีนรูมได้จริง ซึ่งเป็นผลลัพธ์ที่ต้องการ ความชื้นต่ำเหมาะสำหรับการสะสมประจุและเป็นแหล่งกำเนิดไฟฟ้าสถิตที่อาจสร้างความเสียหายได้ เมื่อความชื้นสัมพัทธ์เกิน 50% ประจุไฟฟ้าสถิตจะเริ่มกระจายไปอย่างรวดเร็ว แต่เมื่อความชื้นสัมพัทธ์น้อยกว่า 30% ประจุไฟฟ้าสถิตอาจคงอยู่เป็นเวลานานบนฉนวนหรือพื้นผิวที่ไม่มีสายดิน

ความชื้นสัมพัทธ์ระหว่าง 35% ถึง 40% สามารถใช้เป็นค่าประนีประนอมที่น่าพอใจ และโดยทั่วไปห้องปลอดเชื้อเซมิคอนดักเตอร์จะใช้การควบคุมเพิ่มเติมเพื่อจำกัดการสะสมของประจุไฟฟ้าสถิต

ความเร็วของปฏิกิริยาเคมีหลายชนิด รวมถึงกระบวนการกัดกร่อน จะเพิ่มขึ้นตามความชื้นสัมพัทธ์ที่เพิ่มขึ้น พื้นผิวทั้งหมดที่สัมผัสกับอากาศรอบๆ ห้องคลีนรูมนั้นรวดเร็ว